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세메스, 차세대 KrF 스피너 개발… 고객사 퀄테스트 통과
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불화크립톤(KrF) 스피너를 개발, 고객사의 품질 테스트를 통과했다고 7일 밝혔다. 삼성전자가 해당 장비를... 세메스는 그간 KrF 스피너를 비롯해 불화아르곤이머전(ArF-i) 장비를 생산해왔다. 반도체에 회로를 새기는...


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