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세메스, 차세대 반도체 KrF 스피너 '오메가 프라임' 개발
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반도체 장비기업 세메스가 반도체 포토공정용 트랙장비인 차세대 불화크립톤(KrF) 스피너(설비명 오메가... KrF 스피너 장비는 고청정, 고생산성, 고정밀도가 요구되는 3고 설비로서, 자동 보정 및 자동화 시스템을...


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