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세메스, 차세대 반도체 KrF 스피너 '오메가 프라임' 개발
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세메스(대표 심상필)는 반도체 포토공정용 트랙장비인 차세대 불화크립톤(KrF) 스피너 '오메가 프라임'을... 세메스는 그동안 KrF 스피너와 불화아르곤이머전(ArF-i) 장비를 생산해왔다. 이번에 개발된 '오메가 프라임'은...


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