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세메스, 차세대 반도체 KrF 스피너 '오메가 프라임' 개발[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
반도체 장비업체 '세메스'는 반도체 포토공정에 쓰는 트랙장비인 '불화크립톤(KrF) 스피너'를 개발해... 반도체에 회로를 새기는 노광 기술에는 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 극자외선(EUV)이 있다. 세메스는 그간 KrF...
