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국립환경과학원, 산업계와 반도체 통합허가 기준서 개정 협업
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간담회에서는 반도체 제조공정에서 배출되는 환경오염물질 제거 시설, 온실가스(PFCs) 분해 시설(POU 스크러버)의 운영현황을 파악하고, 기준서에 수록할 폐수처리 최신기법 등이 논의될 예정이다. 또 효과적인...



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